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Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Titre : Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
EAN : 9782746227064
Éditeur : Hermes Science Publications
L'eBook Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs est au format PDF protégé par Filigrane numérique
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